[发明专利]超高真空样品转移设备及转移方法有效
| 申请号： | 201910871823.4 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112505335B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 陈志敏;丁孙安;李坊森;陆晓鸣;芮芳;凌小伦;王利;陈爱喜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括转移主体和辅助装置，转移主体包括用于放置样品的进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括波纹管、传样装置和冷却装置，波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室内，冷却装置能够同时与进样室通过第二阀门连通或断开，与目标腔室连通，与移动泵组通过第三阀门连通，冷却装置设置有注液口和放空口。转移主体与冷却装置可分开运输，冷却装置内部流通液氮，可降至液氮温度，水汽吸附在内壁上，传递过程中样品不受污染。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 样品 转移 设备 方法 | ||
【主权项】：
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