[发明专利]一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置在审
| 申请号： | 201910865338.6 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110554048A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 曾爱军 | 申请（专利权）人： | 南京先进激光技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 32296 南京睿之博知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐晓鹭 |
| 地址： | 210038 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置，包括光源发生器、缺陷探测判别器和用于放置被测对象的检测平台，所述光源发生器包括第一壳体、顺序设置于第一壳体内的窄带光源、准直器、起偏器和相位延迟器，窄带光源发出光束，准直器、起偏器和相位延迟器分别用于对光束进行准直、起偏和相位延迟，输出椭圆偏振光到被测对象上；所述缺陷探测判别器包括第二壳体、顺序设置于第二壳体内的检偏器、成像镜头和探测器，检偏器用于接收反射光信号，成像镜头用于将信号传递给探测器靶面，探测器用于将信号传递给信号处理器。本发明将触摸屏ITO膜不平度缺陷转化为光学图像，将缺陷细节放大且图像对比度高，能有效提高缺陷的识别效率。 | ||
| 搜索关键词： | 探测器 光源发生器 相位延迟器 被测对象 成像镜头 缺陷探测 顺序设置 信号传递 窄带光源 触摸屏 检偏器 判别器 起偏器 准直器 体内 不平度缺陷检测 接收反射光 图像对比度 椭圆偏振光 信号处理器 第二壳体 第一壳体 光学图像 相位延迟 靶面 准直 放大 输出 检测 转化 | ||
【主权项】：
1.一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置，其特征在于：包括光源发生器、缺陷探测判别器和用于放置被测对象的检测平台；其中，所述光源发生器包括第一壳体、顺序设置于第一壳体内的窄带光源（1）、准直器（2）、起偏器（3）和相位延迟器（4），窄带光源（1）发出光束，准直器（2）、起偏器（3）和相位延迟器（4）分别用于对光束进行准直、起偏和相位延迟，输出偏正光到被测对象（5）上；所述缺陷探测判别器包括第二壳体、顺序设置于第二壳体内的检偏器（6）、成像镜头（7）和探测器（8），检偏器（6）用于接收反射光信号，成像镜头（7）用于将反射光信号传递给探测器（8）靶面，探测器（8）用于将反射光信号传递给信号处理器（10）。/n
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