[发明专利]一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置在审
申请号: | 201910865338.6 | 申请日: | 2019-09-12 |
公开(公告)号: | CN110554048A | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 曾爱军 | 申请(专利权)人: | 南京先进激光技术研究院 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 32296 南京睿之博知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐晓鹭 |
地址: | 210038 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探测器 光源发生器 相位延迟器 被测对象 成像镜头 缺陷探测 顺序设置 信号传递 窄带光源 触摸屏 检偏器 判别器 起偏器 准直器 体内 不平度缺陷检测 接收反射光 图像对比度 椭圆偏振光 信号处理器 第二壳体 第一壳体 光学图像 相位延迟 靶面 准直 放大 输出 检测 转化 | ||
本发明涉及一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置,包括光源发生器、缺陷探测判别器和用于放置被测对象的检测平台,所述光源发生器包括第一壳体、顺序设置于第一壳体内的窄带光源、准直器、起偏器和相位延迟器,窄带光源发出光束,准直器、起偏器和相位延迟器分别用于对光束进行准直、起偏和相位延迟,输出椭圆偏振光到被测对象上;所述缺陷探测判别器包括第二壳体、顺序设置于第二壳体内的检偏器、成像镜头和探测器,检偏器用于接收反射光信号,成像镜头用于将信号传递给探测器靶面,探测器用于将信号传递给信号处理器。本发明将触摸屏ITO膜不平度缺陷转化为光学图像,将缺陷细节放大且图像对比度高,能有效提高缺陷的识别效率。
技术领域
本发明涉及触摸屏质量检测领域,特别涉及一种用于触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置。
背景技术
触摸屏是一种可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置,目前广泛应用于智能设备的人机交互中。触摸屏在生产过程中会不可避免的出现各种瑕疵,例如:裂痕、凹坑、气泡、指纹和ITO膜敷贴缺陷等,因此在生产过程中需要对触摸屏进行缺陷检查。目前,针对外观缺陷检测的设备成熟多样,而鲜见用于检测触摸屏ITO膜贴不平缺陷检测的自动化设备。传统的方法是采用人工在背景灯下粗略检查,由于缺陷图样形状细密且具有一定的定域性,往往很难凭人工准确观察,这样就产生了人工检查耗时长、工作效率和准确率低等问题。
现有技术中通常应用高速扫描CCD来采集触摸屏的ITO膜与玻璃基板的对比度图像,并以此来进行缺陷检测。但是由于ITO材料与玻璃基板的透射和反射系数相近,在高速扫描CCD采集时很难形成高对比度图像;并且在光强较弱时,CCD曝光不足也会导致图像过暗和图像存在横向干扰条纹的问题,影响检测效果。
发明内容
技术目的:为了快速准确地识别触摸屏生产过程中引起的触摸屏ITO膜不平度缺陷,本发明提供一种新的检测装置,能有效地实现触摸屏ITO膜不平度缺陷的快速自动化检测,采用非接触式光学检测方法,减少了对ITO膜表面的伤害,同时也能够大大提高测量精度,降低测量误差。
技术方案:一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置,包括光源发生器、缺陷探测判别器和用于放置被测对象的检测平台;其中,所述光源发生器包括第一壳体、顺序设置于第一壳体内的窄带光源、准直器、起偏器和相位延迟器,窄带光源发出光束,准直器、起偏器和相位延迟器分别用于对光束进行准直、起偏和相位延迟,输出偏正光到被测对象上;所述缺陷探测判别器包括第二壳体、顺序设置于第二壳体内的检偏器、成像镜头和探测器,检偏器用于接收反射光信号,成像镜头用于将反射光信号传递给探测器靶面,探测器用于将反射光信号传递给信号处理器。
进一步的,所述成像镜头为双远心镜头,被测对象在镜头物面,探测器靶面在镜头像面。
进一步的,所述缺陷探测判别器在检偏器的输入端还设有分光元件,分光元件用于改变被测对象表面反射光的传输角度。
进一步的,所述分光元件是分光棱镜或平行平板。
进一步的,经所述准直器准直后的出射光束发散角小于2°。
进一步的,经过所述相位延迟器后的出射光束为椭圆偏振光。
进一步的,所述光源发生器的光轴与缺陷探测判别器的光轴关于被测对象表面的法线对称,两光轴之间的夹角小于140°。
有益效果:
(1)、与现有技术相比,本发明公开的检测装置将触摸屏ITO膜不平度缺陷转化为光学图像,将缺陷细节放大并且图像对比度高,能有效提高缺陷的识别效率,进一步结合计算机图像处理技术可实现触摸屏ITO膜不平度缺陷的自动化检测;
(2)、本发明属于非接触式光学检测,克服了接触式检测仪器对ITO膜表面的伤害,排除了人为等受力干扰。
附图说明
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