[发明专利]基于半波片的滚转角外差干涉测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201910862034.4 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110595393A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 乐燕芬;金施嘉珞;金涛 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B9/02 |
| 代理公司： | 31204 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于半波片的滚转角外差干涉测量装置及测量方法，其中，基于半波片的滚转角外差的干涉测量装置包括能产生频率稳定、空间平行、偏振态相同的两束线偏振光的双频激光源及出射光路中的第一分光棱镜，在第一分光棱镜的透射光路上依次设置有第一1/4波片和第一反射镜，在第一分光棱镜的反射光路中依次设置有第二反射镜、光路交换器和第二1/4波片，经第二分光棱镜形成的两个测量光束通过半波片后经角锥棱镜反射再次经过1/2波片，经第一和第二检偏器后分别由第一和第二光电探测器接收，经相位计输出后送往计算机处理。本发明提高了滚转角的测量分辨率且保证了测量系统的抗干扰性能。 | ||
| 搜索关键词： | 分光棱镜 半波片 滚转角 波片 依次设置 反射镜 交换器 偏振光 干涉测量装置 测量分辨率 光电探测器 计算机处理 抗干扰性能 双频激光源 测量光束 测量系统 测量装置 出射光路 反射光路 角锥棱镜 频率稳定 外差干涉 检偏器 偏振态 透射光 相位计 光路 束线 外差 反射 平行 测量 输出 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基于半波片的滚转角外差干涉测量装置，其特征在于，包括：/n双频激光源；/n第一分光棱镜，位于所述双频激光源的出射光光路上；/n第一1/4波片和第一反射镜，依次设置在所述第一分光棱镜的透射光路上；/n第二反射镜、光交换器以及第二1/4波片，依次设置在所述/n第一分光棱镜的反射光路上；/n第二分光棱镜，设置在所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射光路的光轴上；/n半波片和角锥棱镜，依次设置在所述第二分光棱镜的透射光路上；以及/n直角棱镜设置在所述角锥棱镜的反射光路上，/n第一检偏器、第一光电探测器和第二检偏器以及第二光电探测器，设置在所述直角棱镜的反射光路上，/n所述第一光电探测器和所述第二光电探测器的输出端与相位计输入端连接，所述的相位计的输出端与计算机相连。/n
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