[发明专利]基于半波片的滚转角外差干涉测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种基于半波片的滚转角外差干涉测量装置，其特征在于，包括：

双频激光源；

第一分光棱镜，位于所述双频激光源的出射光光路上；

第一1/4波片和第一反射镜，依次设置在所述第一分光棱镜的透射光路上；

第二反射镜、光交换器以及第二1/4波片，依次设置在所述

第一分光棱镜的反射光路上；

第二分光棱镜，设置在所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射光路的光轴上；

半波片和角锥棱镜，依次设置在所述第二分光棱镜的透射光路上；以及

直角棱镜设置在所述角锥棱镜的反射光路上，

第一检偏器、第一光电探测器和第二检偏器以及第二光电探测器，设置在所述直角棱镜的反射光路上，

所述第一光电探测器和所述第二光电探测器的输出端与相位计输入端连接，所述的相位计的输出端与计算机相连。

2.根据权利要求1所述的基于半波片的滚转角外差干涉测量装置，其特征在于：

其中，所述双频激光源发射f₁光束和f₂光束，

所述f₁光束的频率为f₁,所述f₂光束的频率为f₂，

所述f₁光束和所述f₂光束空间平行且偏振态相同，均为线偏振光。

3.根据权利要求2所述的基于半波片的滚转角外差干涉测量装置，其特征在于：

其中，所述第一1/4波片和所述第二1/4波片的方位角分别为θ₁和θ₂，且θ₂＝-θ₁。

4.根据权利要求3所述的基于半波片的滚转角外差干涉测量装置，其特征在于：

其中，所述半波片作为滚转角传感器件随被测件一起运动，从而产生滚转角。

5.根据权利要求1所述的基于半波片的滚转角外差干涉测量装置，其特征在于：

其中，所述光交换器不改变输入的两束平行光的偏振态，只交换所述两束平行光的空间位置。

6.根据权利要求1所述的基于半波片的滚转角外差干涉测量装置，其特征在于：

其中，经过所述第一反射镜的两个平行光束中的所述f₁光束与经过所述第二1/4波片的两个平行光束中的所述f₂光束位于同一高度，经过所述第一反射镜的两个平行光束中的所述f₂光束与经过所述第二1/4波片平行光束中的所述f₁光束位于同一高度。