[发明专利]滤波器单元的调整方法和等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201910858113.8 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN111081518A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 永岛望;油井隆一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供滤波器单元的调整方法和等离子体处理装置。减小针对电性构件设置的滤波器单元的频率特性的偏差。等离子体处理装置中的滤波器单元的调整方法包括第一测定工序和调整工序。在第一测定工序中，测定多个滤波器单元中的作为基准的滤波器单元的频率特性。在调整工序中，调整除作为基准的滤波器单元以外的滤波器单元的频率特性。在调整工序中包括安装工序、第二测定工序以及单独调整工序。在安装工序中，安装用于调整滤波器单元内的配线的电容的电容构件。在第二测定工序中，测定安装有电容构件的滤波器单元的频率特性。在单独调整工序中，调整电容构件的电容，使得安装有电容构件的滤波器单元的频率特性接近作为基准的滤波器单元的频率特性。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 单元 调整 方法 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910858113.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
