[发明专利]测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 201910847273.2 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110887820A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 山内丰彦;安彦修;山田秀直;松井永幸 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;尹明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 测量装置(1A)具备干涉图像取得部(2)、荧光图像取得部(3)、运算部(4)和时序控制电路(5)。运算部(4)基于由干涉图像取得部(2)取得的干涉图像来制作光学厚度图像，并且制作表示由荧光图像取得部(3)取得的荧光图像中的像素值大于阈值的区域的掩模图像，并且在由光学厚度图像中的掩模图像表示的区域中求得光学厚度的积分值。由此，实现了能够精确测量样品中的对象物的量的装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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