[发明专利]一种硅波导导纳的检测系统有效
| 申请号： | 201910825108.7 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110672923B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈伟伟;李红祥;汪鹏君;李文辉;李燕;杨建义 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理有限公司 33226 | 代理人： | 方小惠 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种硅波导导纳的检测系统，包括交流电源、传感器和硅波导导纳检测电路，传感器包括激发电极、感应电极、衬底、硅层和覆盖层，衬底和覆盖层的材料均为SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 波导 导纳 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种硅波导导纳的检测系统，包括交流电源、传感器和硅波导导纳检测电路，所述的传感器包括激发电极、感应电极、衬底、硅层和覆盖层，所述的衬底和所述的覆盖层的材料均为SiO
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