[发明专利]成膜装置及成膜装置的控制方法有效
| 申请号： | 201910811028.6 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110872695B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 添田雄二郎 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够更准确且简单地掌握装置的状况来进行成膜控制的技术。本发明涉及的成膜装置及成膜装置的控制方法的特征在于，通过速率控制来进行成膜，速率控制是加热控制部以使获取部所获取的成膜速率维持成规定的值的方式控制向加热源供给的电力量的控制，在获取部所获取的成膜速率超过规定的阈值时，从速率控制切换为电力控制来进行成膜，所述电力控制是加热控制部以不依赖于获取部所获取的成膜速率地设定的电力量向加热源进行电力供给的控制，在所述电力控制进行之中，基于旋转控制部以使规定期间内的成为所述非遮蔽状态的期间的长度变化的方式变动旋转体的旋转速度时的所述规定期间内的水晶振子的共振频率的变动量，来判定成膜装置的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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