[发明专利]噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法有效
| 申请号： | 201910810051.3 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112445073B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 高琼;刘剑;郭孔斌;赵丹平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法，包括第一防护板、第二防护板和至少一个隔板，所述隔板设置在所述第一防护板和所述第二防护板之间，所述第一防护板、所述第二防护板和所述隔板围成一第一腔体和至少一个第二腔体，第一腔体、第一防护板、第二防护板和隔板构成一薄板吸声器，第二腔体具有一个开口，开口设置在第一防护板和/或第二防护板上，每个第二腔体、与第二腔体对应的开口、与第二腔体对应的隔板、与第二腔体对应的第一防护板和与第二腔体对应的第二防护板构成一亥姆霍兹共振器。通过设置薄板吸声器和亥姆霍兹共振器，可有效吸收噪声，进而改善噪声防护装置的噪声防护功能。 | ||
| 搜索关键词： | 噪声 防护 装置 系统 光刻 方法 | ||
【主权项】：
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