[发明专利]噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法

权利要求书

1.一种噪声防护装置，其特征在于，包括第一防护板、第二防护板和至少一个隔板，所述第一防护板和所述第二防护板相对设置，所述第一防护板和所述第二防护板为铝板或者不锈钢板，所述隔板设置在所述第一防护板和所述第二防护板之间，且分别与所述第一防护板和所述第二防护板固定连接，所述第一防护板、所述第二防护板和所述隔板围成一第一腔体和至少一个第二腔体，所述第一腔体、与所述第一腔体对应的所述第一防护板、与所述第一腔体对应的所述第二防护板和与所述第一腔体对应的所述隔板构成一薄板吸声器，所述第二腔体具有一个开口，所述开口设置在所述第一防护板和/或所述第二防护板上，每个所述第二腔体、与所述第二腔体对应的所述开口、与所述第二腔体对应的所述隔板、与所述第二腔体对应的所述第一防护板和与所述第二腔体对应的所述第二防护板构成一亥姆霍兹共振器。

2.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，所述噪声防护装置包括相对设置的外表面和内表面，以及连接所述外表面和所述内表面的侧面，所述外表面设置在所述第一防护板上，所述内表面设置在所述第二防护板上。

3.如权利要求2所述的噪声防护装置，其特征在于，所述开口设置在所述噪声防护装置的侧面上。

4.如权利要求2所述的噪声防护装置，其特征在于，所述第一防护板包括第一部分和第二部分，所述第二部分沿所述第一部分的边缘设置且与所述第一部分固定连接，所述第二部分向所述第二防护板的方向翻折，并与所述第二防护板固定连接，所述第一防护板和所述第二防护板围成一空腔，所述隔板用于将所述空腔分割呈一个所述第一腔体和至少一个所述第二腔体。

5.如权利要求4所述的噪声防护装置，其特征在于，所述开口具体设置在所述第一防护板的第二部分上，每个所述开口与一个所述第二腔体连通。

6.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，还包括套管，所述套管的一端固定设置在所述开口中，且所述套管的另一端设置在所述第二腔体中。

7.一种噪声防护系统，其特征在于，包括至少两个如权利要求1至6任一项所述的噪声防护装置，所述噪声防护装置相互连接且围成一防护腔。

8.如权利要求7所述的噪声防护系统，其特征在于，所述噪声防护装置的第一防护板位于所述防护腔的外部，所述噪声防护装置的第二防护板位于所述防护腔的内部。

9.如权利要求7所述的噪声防护系统，其特征在于，至少两个所述噪声防护装置可防护的噪声的频率不相同。

10.如权利要求7所述的噪声防护系统，其特征在于，所述噪声防护系统用于对光刻装置进行噪声防护，所述光刻装置包括至少一个光刻组件，所述噪声防护装置可防护的噪声的频率根据距离所述噪声防护装置最近的光刻组件的敏感噪声的频率设定。

11.一种光刻机，其特征在于，所述光刻机包括光刻装置和如权利要求7至10任一项所述的噪声防护系统，所述光刻装置用于光刻，所述光刻装置设置在所述噪声防护系统的防护腔内。

12.一种噪声防护方法，其特征在于，包括：

检测光刻机中各光刻组件的敏感噪声；

设置如权利要求1至6任一项所述的噪声防护装置，且使噪声防护装置可防护的噪声的频率与光刻组件的敏感噪声的频率相近；

将噪声防护装置安装到光刻机中或作为光刻机外壳，且使防护光刻机中各光刻组件的噪声防护装置可防护的噪声的频率与所述光刻组件的敏感噪声的频率相近。

13.如权利要求12所述的噪声防护方法，其特征在于，

所述噪声防护装置可防护的噪声的频率根据距离所述噪声防护装置最近的光刻组件的敏感噪声的频率设定。