[发明专利]一种高度可调的磁控加热一体式装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201910799591.6 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110514194B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 夏敦柱;葛飞;金伟明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/60 | 分类号： | G01C19/60;H05B6/44;H05B6/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐红梅 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高度可调的磁控加热一体式装置及其制备方法，该装置由硅晶圆片、聚酰亚胺以及金属材料通过MEMS工艺制备而成。所述装置包括：作为顶部盖板和底部底板的加热板，加热板正反两面上溅射了特殊布线的加热线圈，以实现低磁场加热；分布在四周的四个磁壁，磁壁上溅射一层金属作为磁场线圈，四个磁壁的对称分布实现磁场中心的高均匀性；四个位于侧面的支撑壁，通过刻蚀实现的凹槽可以调节磁壁的高度，从而调节磁场均匀点高度，板壁间通过聚酰亚胺作为铰链实现链接，从而使得应用中磁场中心的调节以及光路对准更为便利，同时可应用在不同规格的原子气室上，应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高度 可调 加热 体式 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高度可调的磁控加热一体式装置，其特征在于：包括顶部加热板(1)、相对设置的两个调节磁壁(2)、相对设置的两个随动磁壁(3)、四个支撑壁(4)和底部加热板(5)，其中顶部加热板、两个调节磁壁、两个随动磁壁和底部加热板围成四方体，两个调节磁壁和两个随动磁壁与顶部加热板通过聚酰亚胺作为铰链相连接，四个支撑壁与底部加热板之间利用聚酰亚胺作为铰链相连接；其中每个调节磁壁分别由两个支撑壁调节高度并固定。/n
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