[发明专利]阴极腔在审
| 申请号： | 201910787359.0 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN112410851A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 吴勐;杨宏超;贾照伟;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/12;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种阴极腔，包括阴极腔骨架、进液通道口和流量调节装置，所述流量调节装置包括固定层和旋转层，所述固定层安装在阴极腔骨架上并覆盖进液通道口，所述固定层和旋转层均设有多个相匹配的通孔形成阴极腔进液孔，所述旋转层可转动的与固定层相连以调节阴极腔进液孔大小。本发明通过调节旋转层与固定层的通孔的重合度来灵活调节进入阴极腔内溶液流量的大小，从而防止阴极腔内溶液鼓起的现象，保持液面平稳，提高电镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 | ||
【主权项】：
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