[发明专利]一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统在审
| 申请号： | 201910777138.5 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110470639A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈坚;韩成飞;马亮;吴周令 | 申请（专利权）人： | 合肥利弗莫尔仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 34115 合肥天明专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 韩燕<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，包括从前往后顺次设置的泵浦光源、泵浦光调制装置、第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜、用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置，设置于第一分束合束器前端的探测光源，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，以及位于探测光空间滤光器后端的光电探测器；切换机构带动探测光空间滤光器移入或移出第二分束合束器和光电探测器之间。本发明包含了激光诱导反射率显微成像和激光诱导表面热透镜显微成像两种观察模式，对不同样品的吸收分布、热导率、掺杂浓度、掺杂深度等多个参数进行检测分析，大大拓宽了光热显微成像系统的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 分束合束器 空间滤光器 激光诱导 探测光 光电探测器 显微成像 掺杂 显微成像透镜 显微成像系统 表面热透镜 扫描显微镜 泵浦光源 成像系统 待测样品 调制装置 观察模式 光热效应 检测分析 探测光源 样品扫描 运动装置 泵浦光 多模式 反射率 热导率 光热 移出 移入 驱动 移动 吸收 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：包括从前往后顺次设置的泵浦光源和泵浦光调制装置，以及探测光源，第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，光电探测器和用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置；所述的泵浦光调制装置出射的泵浦光束经第一分束合束器透射出，所述的探测光源出射的探测光束经第一分束合束器反射出，第一分束合束器透射出的泵浦光束和反射出的探测光束均经第二分束合束器透射出，第二分束合束器透射出的泵浦光束和探测光束均经显微成像透镜聚焦到样品扫描运动装置上的待测样品表面，待测样品表面反射的探测光束依次经显微成像透镜、第二分束合束器反射出，所述的切换机构为驱动机构，带动探测光空间滤光器移入或移出第二分束合束器和光电探测器之间，所述的第二分束合束器反射出的探测光束进入光电探测器实现激光诱导反射率显微成像，第二分束合束器反射出的探测光束经探测光空间滤光器进入光电探测器实现激光诱导表面热透镜成像。/n
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