[发明专利]脉冲激光镀膜装置有效
| 申请号： | 201910769089.0 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110344008B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 朱佳敏;陈思侃;赵跃;张智巍;姚林朋 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种脉冲激光镀膜装置，包括：激光器(1)、光路系统(2)、镀膜腔体(3)；所述激光器(1)产生脉冲激光光束(21)；所述光路系统(2)将脉冲激光光束(21)引入镀膜腔体(3)内部，使得靶材(341)表面上形成羽辉(211)，来将靶材(341)的材料溅射到基带(336)上形成超导层。本发明能够提高脉冲激光镀膜的质、量以及设备的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 激光 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲激光镀膜装置，其特征在于，包括：激光器(1)、光路系统(2)、镀膜腔体(3)；所述激光器(1)产生脉冲激光光束(21)；所述光路系统(2)将脉冲激光光束(21)引入镀膜腔体(3)内部，使得位于镀膜腔体(3)内部的靶材(341)表面上形成羽辉(211)，来将靶材(341)的材料溅射到基带(336)上形成超导层；所述镀膜腔体(3)，包括腔室本体(31)、真空系统(32)、走带系统(33)、走靶系统(34)、加热系统(35)；腔室本体(31)在真空系统(32)的作用下抽真空，走带系统(33)将多道往复的卷绕基带(336)动态在沉积镀膜区通过，加热系统(35)对沉积镀膜区的基带(336)进行加热，走靶系统(34)将靶材(341)进行转动和/或平动使整个靶材(341)表面均匀接收到脉冲激光形成羽辉(211)，将靶材(341)的材料溅射到多道往复动态通过沉积镀膜区的卷绕基带(336)上，形成超导层；所述走靶系统(34)，包含靶材(341)、靶托(342)、靶二维平动模组(343)，靶旋转电机(344)、靶距调节机构(345)；靶托(342)承载靶材(341)，依靠与靶托(342)相连的靶二维平动模组(343)和靶旋转电机(344)带动靶托(342)平动和转动，依靠靶距调节机构(345)调节靶托(342)与绕于加热滚筒(351)上基带(336)的距离。
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