[发明专利]一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件

摘要

本发明涉及一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，包括照明组件，所述照明组件包括依次顺序连接的光棒调整件、第一倍率调整件、光斑调整组件及第一反射镜组件，光棒调整件包括壳体，所述壳体内设有光棒及用于固定光棒的固定机构，所述光斑调整组件包括镜座，所述镜座内设有多个用于安装镜片的卡槽；所述第一反射镜组件包括安装座，安装座内设有用于固定第一反射镜的固定支架，所述安装座的侧面设有反射出口，所述固定支架倾斜设于所述安装座内且与安装座的底部形成的夹角为锐角，以使第一反射镜反射的光线能够通过反射出口射出。本发明简化了原有光学系统组件的结构，使组件结构更加简单化，降低了生产成本，使得结构紧凑、便于装配调试。

主权项

1.一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，其特征在于：包括照明组件（1），所述照明组件（1）包括依次顺序连接的光棒调整件（11）、第一倍率调整件（12）、光斑调整组件（14）及第一反射镜组件（15），所述光棒调整件（11）包括壳体（111），所述壳体（111）内设有光棒（112）及用于固定光棒（112）的固定机构，所述光斑调整组件（14）包括镜座（141），所述镜座（141）内设有多个用于安装镜片的卡槽（142）；所述第一反射镜组件（15）包括安装座（151），所述安装座（151）内设有用于固定第一反射镜的固定支架（152），所述安装座（151）的侧面设有反射出口（153），所述固定支架（152）倾斜设于所述安装座（151）内且与安装座（151）的底部形成的夹角为锐角，以使第一反射镜反射的光线能够通过反射出口（153）射出。/n