[发明专利]一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件

说明书

本发明涉及一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，包括照明组件，所述照明组件包括依次顺序连接的光棒调整件、第一倍率调整件、光斑调整组件及第一反射镜组件，光棒调整件包括壳体，所述壳体内设有光棒及用于固定光棒的固定机构，所述光斑调整组件包括镜座，所述镜座内设有多个用于安装镜片的卡槽；所述第一反射镜组件包括安装座，安装座内设有用于固定第一反射镜的固定支架，所述安装座的侧面设有反射出口，所述固定支架倾斜设于所述安装座内且与安装座的底部形成的夹角为锐角，以使第一反射镜反射的光线能够通过反射出口射出。本发明简化了原有光学系统组件的结构，使组件结构更加简单化，降低了生产成本，使得结构紧凑、便于装配调试。

技术领域

本发明涉及光学系统技术领域，具体涉及一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件。

背景技术

随着近年来，数字直写曝光设备的发展，对光学系统有了新的需求：组件化、小型化、高光学利用率、低成本等。近年来的数字直写曝光设备的光学系统，大多数与整体设备为一体，需要整体的装配调试，且系统过于沉珂，装配调试复杂，光学镜片过大，加工成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，该组件结构简单、成本低廉、结构紧凑、便于装配调试。

为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：

一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，包括照明组件，所述照明组件包括依次顺序连接的光棒调整件、第一倍率调整件、光斑调整组件及第一反射镜组件，所述光棒调整件包括壳体，所述壳体内设有光棒及用于固定光棒的固定机构，所述光斑调整组件包括镜座，所述镜座内设有多个用于安装镜片的卡槽；所述第一反射镜组件包括安装座，所述安装座内设有用于固定第一反射镜的固定支架，所述安装座的侧面设有反射出口，所述固定支架倾斜设于所述安装座内且与安装座的底部形成的夹角为锐角，以使第一反射镜反射的光线能够通过反射出口射出。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述壳体为圆筒形，所述固定机构包括固定件，所述固定件的外直径与所述壳体的内直径大小相适配，在固定件的中部设有与所述光棒大小相适配的开孔，所述光棒通过开孔安装在壳体的内腔中，所述光棒与所述壳体之间的间隙通过夹紧件固定。

所述夹紧件为圆筒形，所述夹紧件的孔径与所述光棒的横截面大小相适配；所述固定件及壳体上对应设有第一螺孔，所述光棒通过螺杆穿过所述第一螺孔使其压紧在所述壳体内。

所述固定件至少为两个，分别设于壳体端部及中部，两个固定件之间及外侧均设有夹紧件，所述壳体的连接端内侧设有橡胶垫，所述固定件及夹紧件通过橡胶垫压紧固定在所述壳体内。

所述第一倍率调整件包括第一连接部及第二连接部，所述第一连接部与所述镜座螺纹连接，所述第二连接部与所述壳体通过螺纹连接；

所述第一连接部与镜座的连接处设有第一锁紧圈，所述第一锁紧圈通过螺纹安装在所述第一连接部上；所述第二连接部与壳体的连接处还设有第二锁紧圈，所述第二锁紧圈通螺纹安装在所述壳体上。

所述镜座为圆筒状，所述镜座的外侧且靠近中部位置设有凸缘；所述安装座包括固定端及安装部，所述固定端设有与所述镜座端部大小相适配的安装孔，所述镜座的端部安装在所述安装孔内且能够在所述安装孔内旋转，所述镜座与固定端的连接处通过压紧圈固定。

还包括成像组件，所述成像组件包括DMD组件、第二反射镜组件、镜片组件及第二倍率调整组件，所述DMD组件安装在所述第二反射镜组件的上端，所述镜片组件的一端与第二反射镜组件连接，镜片组件的另一端通过法兰与第二倍率调整组件连接；

所述第二反射镜组件包括转接座，所述转接座内设有用于安装第二反射镜的连接支架，所述转接座上设有与所述连接支架相对的圆孔，安装在连接支架上的反射镜角度通过连接支架调节，以使第二反射镜能够通过圆孔接收到第一反射镜反射的光线。