[发明专利]一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件

权利要求书

1.一种适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，其特征在于：包括照明组件(1)，所述照明组件(1)包括依次顺序连接的光棒调整件(11)、第一倍率调整件(12)、光斑调整组件(14)及第一反射镜组件(15)，所述光棒调整件(11)包括壳体(111)，所述壳体(111)内设有光棒(112)及用于固定光棒(112)的固定机构，所述光斑调整组件(14)包括镜座(141)，所述镜座(141)内设有多个用于安装镜片的卡槽(142)；所述第一反射镜组件(15)包括安装座(151)，所述安装座(151)内设有用于固定第一反射镜的固定支架(152)，所述安装座(151)的侧面设有反射出口(153)，所述固定支架(152)倾斜设于所述安装座(151)内且与安装座(151)的底部形成的夹角为锐角，以使第一反射镜反射的光线能够通过反射出口(153)射出；

所述壳体(111)为圆筒形，所述固定机构包括固定件(113)，所述固定件(113)的外直径与所述壳体(111)的内直径大小相适配，在固定件(113)的中部设有与所述光棒(112)大小相适配的开孔(115)，所述光棒(112)通过开孔(115)安装在壳体(111)的内腔中，所述光棒(112)与所述壳体(111)之间的间隙通过夹紧件(114)固定；

所述夹紧件(114)为圆筒形，所述夹紧件(114)的孔径与所述光棒(112)的横截面大小相适配；所述固定件(113)及壳体(111)上对应设有第一螺孔(116)，所述光棒(112)通过螺杆穿过所述第一螺孔(116)使其压紧在所述壳体(111)内。

2.根据权利要求1所述的适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，其特征在于：所述固定件(113)至少为两个，分别设于壳体(111)端部及中部，两个固定件(113)之间及外侧均设有夹紧件(114)，所述壳体(111)的连接端内侧设有橡胶垫(117)，所述固定件(113)及夹紧件(114)通过橡胶垫(117)压紧固定在所述壳体(111)内。

3.根据权利要求1所述的适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，其特征在于：所述第一倍率调整件(12)包括第一连接部(121)及第二连接部(122)，所述第一连接部(121)与所述镜座(141)螺纹连接，所述第二连接部(122)与所述壳体(111)通过螺纹连接；

所述第一连接部(121)与镜座(141)的连接处设有第一锁紧圈(17)，所述第一锁紧圈(17)通过螺纹安装在所述第一连接部(121)上；所述第二连接部(122)与壳体(111)的连接处还设有第二锁紧圈(18)，所述第二锁紧圈(18)通螺纹安装在所述壳体(111)上。

4.根据权利要求1所述的适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，其特征在于：所述镜座(141)为圆筒状，所述镜座(141)的外侧且靠近中部位置设有凸缘(143)；所述安装座(151)包括固定端(154)及安装部(155)，所述固定端(154)设有与所述镜座(141)端部大小相适配的安装孔，所述镜座(141)的端部安装在所述安装孔内且能够在所述安装孔内旋转，所述镜座(141)与固定端(154)的连接处通过压紧圈(16)固定。

5.根据权利要求1所述的适用于激光直写曝光设备的光学系统组件，其特征在于：还包括成像组件(2)，所述成像组件(2)包括DMD组件(21)、第二反射镜组件(22)、镜片组件(23)及第二倍率调整组件(24)，所述DMD组件(21)安装在所述第二反射镜组件(22)的上端，所述镜片组件(23)的一端与第二反射镜组件(22)连接，镜片组件(23)的另一端通过法兰(25)与第二倍率调整组件(24)连接；

所述第二反射镜组件(22)包括转接座(221)，所述转接座(221)内设有用于安装第二反射镜的连接支架(223)，所述转接座(221)上设有与所述连接支架(223)相对的圆孔(224)，安装在连接支架(223)上的反射镜角度通过连接支架(223)调节，以使第二反射镜能够通过圆孔(224)接收到第一反射镜反射的光线。