[发明专利]片材纵置运输小车及气相沉积设备在审
| 申请号： | 201910758586.0 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110453200A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 钱涛;钱政羽;吴其涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C14/50 |
| 代理公司： | 32297 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 陆明耀;顾祥安<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 215122江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了片材纵置运输小车及气相沉积设备，其中运输小车包括高窄且纵置易倾倒的车主体，车主体上设置有至少一组限位块和锁扣，一组限位块和锁扣与车主体配合形成一可纵向放置片材并将片材限位于车主体上的空间；车主体纵置于一排导向滚轮上且由导向滚轮驱动移动，一排导向滚轮可转动地设置于轮座上且连接驱动它们自转的动力机构，车主体通过磁力吸附保持摆正状态。本方案通过高窄的车体结构以及磁力吸附保持小车的摆正状态，既能够减少设备腔体的水平空间，又能够充分缩短阀门的开闭时间及打开宽度，从而可以有效的提高加工效率及避免不同腔体之间的气体交换，还可以减少掉落到工件上的杂质和灰尘等，有利于改善沉积质量。 | ||
| 搜索关键词： | 车主体 导向滚轮 片材 磁力吸附 运输小车 限位块 腔体 锁扣 纵置 气相沉积设备 驱动 车体结构 动力机构 加工效率 减少设备 气体交换 水平空间 纵向放置 可转动 掉落 阀门 开闭 轮座 自转 沉积 倾倒 小车 移动 配合 | ||
【主权项】：
1.片材纵置运输小车，其特征在于：包括高窄且纵置易倾倒的车主体（1），所述车主体（1）的至少一侧面设置有至少一组限位块（2）和锁扣（3），一组所述限位块（2）和锁扣（3）与车主体(1)配合形成一可纵向放置片材并将片材限位于车主体（1）上的空间；所述车主体（1）纵置于一排导向滚轮（4）上且由导向滚轮（4）驱动移动，一排所述导向滚轮（4）可转动地设置于轮座（5）上且连接驱动它们自转的动力机构（6），所述车主体（1）通过磁力保持摆正状态。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司，未经星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910758586.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
