[发明专利]检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器有效
申请号: | 201910758107.5 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN112393680B | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | 陈鲁;李青格乐;吴远法;蒋路翔;邓旺财;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/16;G01D5/24;G01D5/34;G01L1/18 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 许蓓 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开提出一种检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器,涉及检测技术领域。通过在检测镜头上设置各种传感器,例如,压力传感器、光电传感器、电容传感器等,控制器基于这些传感器传来的检测信号控制检测镜头和/或置物台改变运动,防止碰撞的发生或减小碰撞损失。 | ||
搜索关键词: | 检测 设备 及其 控制 方法 以及 镜头 组件 控制器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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