[发明专利]一种在银片表面制备低反射银-钼合金膜的方法有效
申请号: | 201910753769.3 | 申请日: | 2019-08-15 |
公开(公告)号: | CN110318027B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 孙浩亮;吕源江;连鑫鑫;刘元昊;代继伟;徐超;王广欣 | 申请(专利权)人: | 河南科技大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 卫煜睿 |
地址: | 471000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种在银片表面制备低反射银‑钼合金膜的方法,主要包括以下步骤:步骤一、将清洗干燥后的钼靶固定到磁控溅射靶位上;步骤二、将3‑4片清洗干燥后的银片对称放到钼靶上,采用射频磁控溅射法,在溅射过程中部分银原子与钼原子在磁场作用下沉积在银片表面形成具有蜂窝状结构的低反射银‑钼合金膜,本发明方法简单,操作方便,无需采用模板,无需化学试剂,无需加热退火,成本低,绿色环保,能够在银片上无需模板制备出具有蜂窝状结构的低反射银‑钼合金膜,较之银片反射率可降低50%以上,制备的高性能Ag‑Mo复合结构材料可应用于吸光、催化、传感器等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 制备 反射 合金 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在银片表面制备低反射银‑钼合金膜的方法,其特征在于:主要包括以下步骤:步骤一、将清洗干燥后的钼靶固定到磁控溅射镀膜机靶位上;步骤二、将3‑4片清洗干燥后的银片对称放到钼靶上,采用射频磁控溅射法,在溅射过程中部分银原子与钼原子在磁场作用下沉积在银片表面形成具有蜂窝状结构的低反射银‑钼合金膜。
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