[发明专利]一种化学气相沉积速率预测方法有效
| 申请号： | 201910749267.3 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110598255B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 关康;卢振亚;吴建青;曾庆丰;冯志强;刘建涛;高勇;龚振远 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G16C20/30;G16C20/70 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 范国刚 |
| 地址： | 510640 广东省广州市五山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学气相沉积速率预测方法，具体涉及化学工艺研究领域，具体预测方法如下：建立有限元反应器模型；建立能量守恒方程；建立质量守恒和动量守恒方程；建立多组分扩散方程；建立气相反应模型；极限学习机模型和粘附系数法确定主要中间物质；建立表面反应模型；沉积速率预测模型建立粘度系数和表面浓度、沉积速率的相关性；建立中间物质粘度系数与其影响因素之间的多因变量的PLSR模型；根据实验结果确定粘附系数。本发明结合机器学习和计算流体力学的模拟技术，将大大降低模型参数对人为经验的依赖，通过少量实验即可准确确定重要中间相和粘滞系数，达到预测结果准确性高、可靠性强的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 速率 预测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相沉积速率预测方法，其特征在于，具体预测方法如下：/nS1、建立有限元反应器模型：根据实验条件将反应器模拟为三维圆柱模型，然后将反应器切割并区分为反应器空腔、进气口和沉积基底，只保留一半的反应器空腔、进气口和沉积，得到有限元模型；/nS2、建立能量守恒方程：考虑热传导和对流，忽略热辐射和反应热，建立能量守恒方程，计算温度场：/n
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