[发明专利]基于微波处理的化学气相转化工艺制备碳化硅部件的方法及设备有效
| 申请号： | 201910748085.4 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110357631B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 曾杰 | 申请（专利权）人： | 曾杰 |
| 主分类号： | C04B35/52 | 分类号： | C04B35/52;C04B35/573;C04B35/626;C04B35/64 |
| 代理公司： | 淄博启智达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37280 | 代理人： | 袭娜;王燕 |
| 地址： | 新加坡宏茂桥区52*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备碳化硅部件的方法，具体涉及一种基于微波处理的化学气相转化工艺制备碳化硅部件的方法及设备。首先将部件通过微波转换炉进行干燥排气，去除石墨孔隙结构里的水蒸气和其他残余挥发性物质；然后通入硅烷气体，启动微波电源通过微波加热触发化学反应，制成石墨‑碳化硅部件，微波功率设定在500W‑3000W之间，完毕后降至室温，将部件移出微波处理炉，工艺完成。本发明能够避免引入硅残留物杂质，转化速度快，效率高，能耗低，均匀性好，安全性高，能有效避免石墨‑碳化硅产品内部形成连通性孔洞。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微波 处理 化学 转化 工艺 制备 碳化硅 部件 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基于微波处理的化学气相转化工艺制备碳化硅部件的方法，其特征在于：首先将部件通过微波转换炉进行干燥排气，去除石墨孔隙结构里的水蒸气和其他残余挥发性物质；然后通入硅烷气体，启动微波电源通过微波加热触发化学反应，制成石墨‑碳化硅部件，完毕后降至室温，将部件移出微波处理炉，工艺完成。
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