[发明专利]金属基体表面抗磨蚀防护涂层及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201910747312.1 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110438465B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;刘林林;孙丽丽;郭鹏;李昊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/32 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种金属基体表面抗磨蚀防护涂层及其制备方法与应用。所述涂层包括采用线性离子源复合直流磁控溅射技术在金属基体表面依次形成的Ti过渡层、TiC |
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| 搜索关键词： | 金属 基体 表面 磨蚀 防护 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种金属基体表面抗磨蚀防护涂层，其特征在于包括在金属基体表面依次形成的Ti过渡层、TiCx梯度层、第一DLC层、TiCx/Ti/TiCx/DLC交替层叠层和顶层，其中，所述TiCx/Ti/TiCx/DLC交替层叠层由TiCx/Ti/TiCx三明治层和第二DLC层交替层叠形成，所述TiCx/Ti/TiCx三明治层包括两个TiCx层和设置于所述两个TiCx层之间的一个Ti层，所述顶层包括第三DLC层，所述TiCx中X的取值范围为0.8～1.3。
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