[发明专利]一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法在审
| 申请号： | 201910735926.8 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110444458A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 唐瑞龙;廖宜专;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/304;H01J37/317;G01T1/29 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法，检测装置用于检测离子束剖面方向的离子浓度分布，包括：检测屏，所述检测屏能够接收所述离子束辐照的一侧涂布有磷光材料；和处理器，与所述检测屏电性连接，能够根据所述磷光材料因接收所述离子束辐照而产生的磷光响应，获得所述离子束剖面的离子浓度分布，利用磷光材料在电磁辐射和离子射线激发下能发出磷光的特性，根据磷光材料因接收离子束辐照而产生的磷光响应，获得离子束剖面的离子浓度分布，其结构简单，且能够获得直观的磷光响应图像以供分析或计算，为离子束剖面的离子浓度分布检测提供了便利。 | ||
| 搜索关键词： | 浓度分布 离子束 离子 磷光材料 磷光 离子束辐照 检测屏 离子植入设备 可视化 种检测 响应 电磁辐射 电性连接 检测装置 离子射线 剖面方向 检测 处理器 直观 图像 便利 激发 分析 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，用于检测离子束剖面方向的离子浓度分布，其特征在于，包括：检测屏，所述检测屏能够接收所述离子束辐照的一侧涂布有磷光材料；和处理器，与所述检测屏电性连接，能够根据所述磷光材料因接收所述离子束辐照而产生的磷光响应，获得所述离子束剖面的离子浓度分布。
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