[发明专利]铝钪合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910728796.5 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN111455223B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 黄培;黄美松;王志坚;刘华;邓月华;马小波;文康;刘维 | 申请（专利权）人： | 湖南稀土金属材料研究院 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C22C1/02;C22F1/04;C22F1/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 曹素云;陈英俊 |
| 地址： | 410126 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝钪合金靶材及其制备方法。其中制备方法包括：选取纯度在99.99％以上的金属铝和金属钪；按金属钪的质量百分比含量为5％～40％，金属铝的质量百分比含量为60％～95％配料，将所述金属铝分多次对掺到所述金属钪中，反复熔炼，得到预期的铝钪合金；将所述铝钪合金浇铸到模具中，得到铝钪合金靶坯；将所述铝钪合金靶坯进行机加工得到所述铝钪合金靶材。采用本发明可以解决现有技术中靶材成分的均匀化难以实现，钪分布不均匀，靶材氧含量高，致密度低，合金纯度低，无法用来制备溅射镀膜的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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