[发明专利]一种震动探测器及其制作方法在审
| 申请号： | 201910726910.0 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110411559A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 胡双;张建超 | 申请（专利权）人： | 深圳中科系统集成技术有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;G08B13/02 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种震动探测器，包括：基板，所述基板的第一表面的边缘具有插针控深孔，且所述插针控深孔的内壁设置有铜膜层；位于所述基板的第二表面的震动传感器；位于所述第一表面的与所述震动传感器匹配的器件、芯片；其中，所述第一表面与所述第二表面相对。可见，本申请中震动探测器的震动传感器和与震动传感器匹配的器件、芯片分别位于基板两个相对的表面上，避免采用震动传感器、器件、芯片位于同一表面的设计，从而使基板的尺寸大大减小，因此，震动探测器的整体尺寸减小，使震动探测器向小型化发展。此外，本申请还提供一种具有上述优点的震动探测器制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 震动探测器 震动传感器 基板 第一表面 第二表面 控深孔 芯片 插针 匹配 申请 尺寸减小 同一表面 铜膜层 减小 内壁 制作 | ||
【主权项】：
1.一种震动探测器，其特征在于，包括：基板，所述基板的第一表面的边缘具有插针控深孔，且所述插针控深孔的内壁设置有铜膜层；位于所述基板的第二表面的震动传感器；位于所述第一表面的与所述震动传感器匹配的器件、芯片；其中，所述第一表面与所述第二表面相对。
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