[发明专利]一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置有效
| 申请号： | 201910715321.2 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110479688B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 王玉庆;胡苏安 | 申请（专利权）人： | 马鞍山致青工业设计有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B15/02;B08B15/04;B08B13/00;H01L21/67 |
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| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，包括支撑架，所述支撑架内从左往右依次设置有储液装置和电机，所述支撑架上端固定连接有酸洗槽，所述电机上端往酸洗槽内延伸，所述酸洗槽内转动连接有转动轴，所述转动轴下端外侧固定连接有第一齿轮，所述电机上端外侧固定连接有第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮为啮合连接，所述转动轴和电机上端均固定连接有转动清洗装置，所述酸洗槽上端活动连接有防烟装置。该硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，有效提高酸洗液对硅片的清洗质量度，提高硅片在防护罩内的稳定性，有效将酸洗时产生的有害气体进行遮挡，并通过排烟口将烟气排出，降低对操作者的危害，提高安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 生产 酸洗 循环 利用 转动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)内从左往右依次设置有储液装置(2)和电机(3)，所述支撑架(1)上端固定连接有酸洗槽(4)，所述电机(3)上端往酸洗槽(4)内延伸，所述酸洗槽(4)内转动连接有转动轴(5)，所述转动轴(5)下端外侧固定连接有第一齿轮(6)，所述电机(3)上端外侧固定连接有第二齿轮(7)，所述第一齿轮(6)和第二齿轮(7)为啮合连接，所述转动轴(5)和电机(3)上端均固定连接有转动清洗装置(8)，所述酸洗槽(4)上端活动连接有防烟装置(9)。/n
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