[发明专利]一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统有效

专利信息
申请号: 201910698949.6 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN110307805B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 李豪伟;李慧鹏;宋凝芳;张春熹 申请(专利权)人: 北京航空航天大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100191*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统,可对精密元器件提供无损、快速、高精度、电动的表面三维形貌测量。照明模块对光进行准直整形,成像模块将准直整形后的光分为物光和参考光,两束光的反射光合束后干涉,条纹调整和扫描模块调整参考镜的偏转姿态,在干涉条纹满足扫描要求时进行扫描,成像模块将干涉光放大成像后传输给处理模块,处理模块根据图像重现被测样品的表面三维形貌,被测样品利用样品夹持模块固定且利用对焦模块实现对焦,照明模块、条纹调整和扫描模块和成像模块利用系统固定模块固定,整个系统结构设计紧凑,具有体积小、便于集成、易于搬运、适合异地测试等优势,且参考镜的偏转角度可以实现电动精确调节。
搜索关键词: 一种 用于 表面 三维 形貌 测量 白光 干涉 系统
【主权项】:
1.一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统,其特征在于,包括:照明模块、条纹调整和扫描模块、成像模块、处理模块、样品夹持模块、对焦模块以及系统固定模块;其中,所述照明模块,用于对低相干光进行准直整形;所述条纹调整和扫描模块,用于调整参考镜的偏转姿态,以调整干涉条纹的幅度和偏转角度,待所述干涉条纹满足扫描要求时进行扫描;所述成像模块,用于将准直整形后的光分为两束光,一束为照射在被测样品的物光,另一束为照射在所述参考镜的参考光,并将由所述物光的反射光和所述参考光的反射光合束后产生的干涉光放大成像,再将图像传输给所述处理模块;所述处理模块,用于将接收的图像转化为数字数据并进行解算,重现所述被测样品的表面三维形貌;所述样品夹持模块,用于固定所述被测样品,使所述被测样品的表面与所述物光垂直;所述对焦模块,与所述样品夹持模块固定连接,用于调整所述被测样品的位置,使所述成像模块成像清晰;所述系统固定模块,用于固定所述照明模块、所述条纹调整和扫描模块以及所述成像模块。
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