[发明专利]气浮平台及自动光学检查设备在审
| 申请号： | 201910687517.5 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110487512A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 方杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02F1/13 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种气浮平台，包括相邻排列的多个气浮机构。每一气浮机构包括基座、设于所述基座内的吹气装置，及包括气流生成模块及连接于气流生成模块的多个吹气管。气浮板设于基座上，包括气浮面、设于气浮面周围的侧壁，及连通多个吹气管的多个吹气孔。侧壁与气浮面之间具有角边部，其一端连接气浮面，另一端连接侧壁，且角边部朝气浮面与侧壁之间内凹设置。所述角边部可以减少接受光学检测的基板，因为高低差引发的背刮风险，进而提升检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮面 侧壁 角边部 生成模块 一端连接 吹气管 吹气装置 光学检测 内凹设置 气浮机构 相邻排列 吹气孔 高低差 气浮板 基板 连通 检测 | ||
【主权项】：
1.一种气浮平台，包括相邻排列的多个气浮机构，其特征在于，每一所述气浮机构包括：/n基座；/n吹气装置，设于所述基座内，并包括气流生成模块及连接于所述气流生成模块的多个吹气管；以及/n气浮板，设于所述基座上，包括气浮面、设于所述气浮面周围的侧壁，及连通所述多个吹气管的多个吹气孔，其中所述侧壁与所述气浮面之间具有角边部，其一端连接所述气浮面，另一端连接所述侧壁，且所述角边部朝所述气浮面与所述侧壁之间内凹设置。/n
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