[发明专利]一种探针组件及测试装置在审
| 申请号： | 201910683297.9 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110361569A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 白国晓;康釗 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种探针组件及测试装置。其中，该探针组件包括：探针承载部；至少两个探针；至少两个位移传感器，与至少两个探针设置于探针承载部；位移传感器输出随探针压入测试点的压入量变化相对应的传感信号。本发明实施例的技术方案可以方便调整探针承载部的倾斜度，并保证测试焊盘与探针接触良好，减小接触电阻，并降低测试焊盘被探针扎坏的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 探针承载 探针组件 测试焊盘 测试装置 倾斜度 个位移传感器 位移传感器 传感信号 接触电阻 探针接触 测试点 压入量 减小 压入 输出 保证 | ||
【主权项】：
1.一种探针组件，其特征在于，包括：探针承载部；至少两个探针；至少两个位移传感器，与所述至少两个探针设置于所述探针承载部；所述位移传感器输出随所述探针压入测试点的压入量变化相对应的传感信号。
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