[发明专利]蒸镀装置及其蒸镀原料的回收方法在审
| 申请号： | 201910674893.0 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN112301312A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 杭州纤纳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人： | 杨文华 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀装置包括蒸镀舱，在蒸镀舱的底部设置至少一个盛有蒸发材料的蒸发源，在蒸镀舱上还设置调节蒸镀舱内气体压强的蒸镀舱气压调节装置，在蒸镀舱的内壁上还活动地设置了至少一个便于更换的收集板，收集板用于收集沉积在其表面的蒸发原料，在蒸镀舱上还设置有便于更换收集板的蒸镀舱舱门；在蒸镀舱上设置有循环冷却系统，循环冷却系统降低了收集板表面温度使其便于沉积蒸发原料。本发明还公开使用该蒸发装置进行蒸镀原料的回收方法。本发明在保证蒸镀工艺不受影响的前提下，方便高效地回收蒸镀原材料并再利用，降低生产成本，同时改善蒸镀腔体环境，延长蒸镀设备使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 原料 回收 方法 | ||
【主权项】：
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