[发明专利]具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法有效
| 申请号： | 201910665874.1 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110497533B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王占山;沈正祥;余俊 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B28D1/16 | 分类号： | B28D1/16;B28D7/00;G01B11/06;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，该方法包括：在直角棱镜和基底工装的辅助下依次车削加工待加工工件的各表面，在加工过程中利用光学探针在线检测待加工工件的厚度偏差和垂直角度偏差。与现有技术相比，本发明具有加工效率快、制作成本低、加工精度和可靠性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 在线 检测 功能 立方体 反射 精密 车削 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，该方法包括：在直角棱镜和基底工装(1)的辅助下依次车削加工待加工工件(2)的各表面，在加工过程中利用光学探针(5)在线检测待加工工件(2)的厚度偏差和垂直角度偏差。/n
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