[发明专利]金刚线切割液及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201910649488.3 申请日: 2019-07-18
公开(公告)号: CN110295082B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 方书农;蔡进;马雪彦;黄卫东 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: C10M173/02 分类号: C10M173/02;C10N30/12;C10N30/16;C10N30/18;C10N30/06
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 王卫彬;马续红
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种金刚线切割液及其制备方法和应用。本发明的金刚线切割液,其由以下述原料制得,所述的原料包括以下质量分数的组分:10~30%高分子聚合物、10~40%聚乙二醇10000、10~20%聚乙二醇20000、1~10%聚季铵盐‑10、10~30%多元醇醚类化合物、1~5%甘氨酸、和水,水补足余量,所述的“%”为各组分的质量占各组分的总质量的质量百分比;其中,所述的高分子聚合物为聚乙二醇改性超支化聚醚酯。本发明的金刚线切割液综合性能好。
搜索关键词: 金刚 切割 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
1.一种金刚线切割液,其由以下述原料制得,所述的原料包括以下质量分数的组分:10~30%高分子聚合物、10~40%聚乙二醇10000、10~20%聚乙二醇20000、1~10%聚季铵盐‑10、10~30%多元醇醚类化合物、1~5%甘氨酸、和水,水补足余量,所述的“%”为各组分的质量占各组分的总质量的质量百分比;其中,所述的高分子聚合物为聚乙二醇改性超支化聚醚酯,该化合物的结构通式为:(CH3CH2C(CH2OH)2CH2O)m(CH3CH2C(CH2O)2CH2OH)n(CH3CH2C(CH2O)3)h(C4H4O2(CH2CH2OCH3)p)i,式中,0≤m≤20,0≤n≤40,0≤h≤40,0≤i≤40,6≤p≤42,m+n+h≤50,m、n、h、i不同时为零,所述的聚乙二醇改性超支化聚醚酯的支化度为0.4~0.55,分子量在7000~50000。
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