[发明专利]一种金属钼材料的表面改性方法在审

专利信息
申请号: 201910630429.1 申请日: 2019-07-12
公开(公告)号: CN110257864A 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 刘贵庆;张振兴;李东华;相裕兵;伊新兵;杨旭东 申请(专利权)人: 济南市半导体元件实验所
主分类号: C25D3/12 分类号: C25D3/12;C25D5/38;C25D5/50;C25F1/08;C23F1/26;C23F1/38;C23G1/00;C23G5/00
代理公司: 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 代理人: 杨先凯
地址: 250014 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请提供了一种金属钼材料的表面改性方法,包括以下依次进行的步骤:电解除油、化学除油、一次刻蚀处理、二次刻蚀处理、活化、电镀镍、热处理;本申请中金属钼材料与镀镍层的结合力强度好、镀镍层应力低、镀镍层厚度一致性好、镀镍层浸润性好等特点,表面改性成品率由原来的80%左右提高到98%以上,金属钼材料的利用率也得到了提升,使用本发明处理后的金属钼材料生产的相关产品,其成品率也因此得到了提升,因金属钼材料不良造成的不良品率由5%下降到1%以下,对相关产品的可靠性提供了强有力的保障。
搜索关键词: 金属钼 镀镍层 表面改性 成品率 厚度一致性 热处理 不良品率 材料生产 电解除油 二次刻蚀 化学除油 电镀镍 结合力 浸润性 活化 刻蚀 申请
【主权项】:
1.一种金属钼材料的表面改性方法,其特征在于,包括以下依次进行的步骤:1)电解除油:将金属钼材料作为阳极置于电解液中,将阴极置于电解液中,直流电源、阳极、阴极与电解液形成电解回路进行电解除油,然后将电解除油完成后的金属钼材料洗净;2)化学除油:将步骤1)电解除油后再洗净的金属钼材料置于化学除油液中进行化学除油,然后将化学除油完成后的金属钼材料洗净;3)一次刻蚀处理:将经过步骤2)化学除油后再洗净的金属钼材料置于刻蚀Ⅰ号液中进行一次刻蚀处理,然后将一次刻蚀处理完成后的金属钼材料洗净;4)二次刻蚀处理:将经过步骤3)一次刻蚀处理后再洗净的金属钼材料置于刻蚀Ⅱ号液中进行二次刻蚀处理,然后将二次刻蚀处理完成后的金属钼材料洗净;5)活化:将经过步骤4)二次刻蚀处理后再洗净的金属钼材料置于盐酸溶液中进行活化处理,然后将活化处理完成后的金属钼材料洗净;6)电镀镍:将经过步骤5)活化处理后再洗净的金属钼材料作为阴极置于氨基磺酸镍溶液中进行电镀镍,然后将电镀镍处理完成后的金属钼材料先洗净再烘干;7)热处理:将步骤6)制得的带有镀镍层的钼基复合材料置于链式炉中且在氮气和氢气的混合气氛保护下进行热处理,热处理的保温温度为900℃~1000℃,热处理的保温时间为60min,然后冷却,冷却完成后出炉即完成金属钼材料的表面改性。
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