[发明专利]一种声光调Q紫外激光器在审

专利信息
申请号: 201910624848.4 申请日: 2019-07-11
公开(公告)号: CN110277726A 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 李奇;郑权;王金艳;陈曦;李世杰;任广胜 申请(专利权)人: 长春新产业光电技术有限公司
主分类号: H01S3/081 分类号: H01S3/081;H01S3/109;H01S3/117;H01S3/00
代理公司: 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 代理人: 周锦全
地址: 130103 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明适用于光学领域,提供了一种声光调Q紫外激光器,所述声光调Q紫外激光器包括:两个设置有激光泵浦源、聚焦组件、激光晶体以及声光调Q开关的支臂光路;用于将两路支臂光路合并成一路并通过v型折叠腔输出和频光的合束镜;v型折叠腔包括第一腔镜、第二腔镜,以及用于和频的和频晶体;用于输出紫外脉冲光的腔外倍频装置,包括聚焦透镜、倍频晶体以及分光片。本发明实施例提供的一种声光调Q紫外激光器,通过声光调Q开关对两束基频激光调Q输出脉冲光,然后通过合束镜对两个支臂光路进行合并通过和频晶体形成和频光,聚焦到倍频晶体上并通过分光片输出指定波长的紫外单色脉冲激光。
搜索关键词: 声光调Q 紫外激光器 光路 支臂 倍频晶体 和频晶体 分光片 和频光 合束镜 折叠腔 腔镜 激光泵浦源 单色脉冲 光学领域 基频激光 激光晶体 聚焦透镜 聚焦组件 腔外倍频 输出指定 紫外脉冲 调Q输出 合并 输出 脉冲光 波长 和频 两路 激光 聚焦
【主权项】:
1.一种声光调Q紫外激光器,其特征在于,包括:支臂光路,所述支臂光路设置有两个,每个所述支臂光路设置有激光泵浦源、聚焦组件、激光晶体以及声光调Q开关,所述激光泵浦源输出的泵浦光经所述聚焦组件聚焦到所述激光晶体上,转化为基频光输出;所述声光调Q开光,用于将所述基频光转化为脉冲基频光,其中两束所述基频脉冲光在同一平面上且相互垂直;v型折叠腔,包括合束镜、第一腔镜以及第二腔镜,所述合束镜镀有对第一基频光高反、对第二基频光高透的膜,用于将两路所述脉冲基频光合并成一路;所述第一腔镜镀有对基频光高反射、对和频光高透射的膜,所述第二腔镜镀有对基频光以及和频光全部高反射的膜;所述第一腔镜和所述第二腔镜之间设有和频晶体,用于将所述脉冲基频光转化为脉冲和频光输出;以及腔外倍频装置,设置有聚焦透镜,倍频晶体以及分光片,所述单色脉冲和频光通过聚焦透镜聚焦到倍频晶体上,并通过分光片输出指定波长的单色紫外脉冲光。
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  • 2016-06-22 - 2019-03-19 - H01S3/081
  • 本发明公开了一种绝对波长标定和校准装置及其方法,用于准分子激光器绝对波长的标定和校准,该装置按光路方向顺次包括第一正透镜(1)、匀化片(2)、第二正透镜(3)、第一半透半反镜片(4a)和第二半透半反镜片(4b)、不同元素制成的第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)、第三正透镜(6a)和第四正透镜(6b)、第一滤光片(7a)和第二滤光片(7b)、第一紫外光电探测器件(8a)、第二紫外光电探测器件(8b)和第三紫外光电探测器件(8c),该方法采用两个分别填充不同元素的空心阴极灯,基于两种不同元素发出的至少两条193nm附近高吸收强度原子吸收线的方法来进行激光器绝对波长的标定和校准,利用两条强原子吸收线处产生的高对比度信号变化量,来提高绝对波长标定和校准的精度,并可能降低对探测电路精度的要求。
  • 一种折叠腔激光器-201610077090.3
  • 金亮;张贺;徐莉;丁路霜;徐英添;邹永刚;赵鑫;李洋;马晓辉 - 长春理工大学
  • 2016-01-30 - 2019-03-12 - H01S3/081
  • 本发明公开了一种折叠腔激光器,涉及激光技术领域。所述折叠腔激光器将半径为r的圆周5等分,在5等分点上分别设置一个半反射镜以及四个全反射镜,其中,光路终点的全反射镜可调节角度,其余半反射镜和全反射镜均固定。调整时只需要调整光路终点的全反射镜即可,避免了复杂的调整过程。并且,通过此种几何设计,能够有效的提高谐振腔的压缩效率,便于激光器的维护,激光器也较稳定。
  • 双路相干合成激光器-201811547030.9
  • 吴先友;姜玲玲;熊正东;胡舒武;魏蒙恩;江健涛;程庭清;江海河 - 中国科学院合肥物质科学研究院
  • 2018-12-18 - 2019-03-08 - H01S3/081
  • 本发明公开了一种双路相干合成激光器。它由谐振腔反射镜和泵浦组件组成,泵浦组件由激光工作物质、聚光腔和激励源构成;其中,谐振腔反射镜为表面镀全反膜的第一全反镜(M1)、第二全反镜(M2)、第三全反镜(M3)和45゜角全反镜(M4),以及一面镀增透膜、另一面镀50%透过膜的45゜角半反镜(M5),泵浦组件中的第一泵浦组件(1)发射光路的一端置有第一全反镜(M1),另一端置有45゜角全反镜(M4)、45゜角半反镜(M5)和第三全反镜(M3),第二泵浦组件(2)发射光路的一端置有第二全反镜(M2),另一端置有45゜角半反镜(M5)、第三全反镜(M3)和45゜角全反镜(M4)。它极易于广泛地商业化应用于照明、工业加工及国防等领域。
  • 激光器谐振腔-201410156089.0
  • 魏宁;刘晋;卢洪湖;周桂兵;陈根余;陈燚;高云峰 - 大族激光科技产业集团股份有限公司
  • 2014-04-17 - 2019-02-19 - H01S3/081
  • 本发明适用于激光技术领域,提供了一种激光器谐振腔,旨在解决现有技术中激光器谐振腔偏振无法消除的问题。该激光器谐振腔包括沿激光束的光路依次顺序连接且分布于不同平面的尾镜、第一折反镜、第二折反镜、第三折反镜、第四折反镜以及输出镜,第一平面与第二平面相互垂直;光路在第一平面和在第二平面上被折叠的次数相同,相邻两个光路相互垂直。激光器谐振腔内光路中的s偏振和p偏振具有相同的反射率,通过将激光束在第一平面和第二平面内的光路被折叠的次数相同,消除了同一平面内折反镜对激光束的偏振影响。
  • 被动锁模谐振腔及激光器-201820449120.3
  • 文侨;安然;范小贞 - 深圳大学
  • 2018-03-30 - 2019-02-12 - H01S3/081
  • 本实用新型适用于谐振腔技术领域,提供了一种被动锁模谐振腔,谐振腔为双臂像散补偿腔,并包括泵浦源、锁模器件和输出平面镜、设置于锁模器件与输出平面镜之间的光路上的像散补偿单元及其π圆与输出平面镜相切的热透镜;各像散补偿单元包括至少两个曲面镜;根据光斑半径大小、各曲面镜的焦距及至少一曲面镜的倾斜角通过传播圆作图法确定各曲面镜的位置。被动锁模谐振腔通过在锁模器件和输出平面镜之间的光路上设置像散补偿单元,以使该双臂像散补偿腔内的像散得到补偿,利用传播圆作图法确定像散补偿单元中各曲面镜的位置,以使像散补偿效果最佳;通过在被动锁模谐振腔内设置热透镜,以使输出平面镜前的光束的光斑变化最小,光束的传播特性稳定。
  • 一种氟化氢激光波长选择输出折叠非稳腔-201510824732.7
  • 王元虎;多丽萍;金玉奇;李刚;邓淞文;李国富;于海军;汪健;曹靖;康元福 - 中国科学院大连化学物理研究所
  • 2015-11-23 - 2019-01-25 - H01S3/081
  • 本发明涉及一种氟化氢激光波长选择输出折叠非稳腔,该谐振腔包括凸形反射镜、45度偏振反射镜、45度全反射镜、凹形反射镜。其中凸形反射镜和凹形反射镜的反射面分别镀有短波长光高透过、长波长光高反射的反射膜,45度偏振反射镜的反射面镀有长波长光高透过、短波长光高反射的反射膜。利用腔内光学元件对腔内不同波长的振荡光的反射率不同,实现不同波长激光的选择性输出。通过腔内设置光学元件位置,分别实现腔内谐振光沿气流方向的束转动,提高输出光斑的空间分布均匀性。这种谐振腔其结构简单,能够实现氟化氢激光单谱线均匀输出。
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