[发明专利]一种三足平面三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法

摘要

本发明涉及一种三足平面三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法，属于压电驱动领域，可以用于精密驱动、微机械等领域。本发明是为了解决现有的三自由度压电自致动装置结构复杂、成本高、输出力较小，小型化困难，多驱动足接触不良的问题。本发明的三足平面三自由度压电谐振自致动机构包括三组完全相同的柱状压电换能器及其连接机构，所述该柱状压电换能器为轴对称结构，由一个柱状金属弹性体以及四片环绕柱状弹性体中部并粘接在弹性体外表平面上的压电陶瓷片构成，所有压电陶瓷片均沿厚度方向极化。本发明所述该自致动机构的激励方法是通过两相或四项电压激励信号分别激励三个柱状压电换能器的纵振或摇头弯振实现其在平面上的三自由度致动功能。