[发明专利]一种宏量制备硅纳米材料的方法及装置在审
| 申请号： | 201910607007.2 | 申请日： | 2019-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110156022A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金雪莉 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 台州蓝天知识产权代理有限公司 33229 | 代理人： | 孙炜 |
| 地址： | 318000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米材料技术领域，涉及一种宏量制备硅纳米材料的方法，包括如下步骤：将含硅气体和惰性气体输入到等离子体枪中，在等离子体枪内电离及热分解出硅离子和氢离子；使经过电离及热分解打开的硅离子和氢离子进入生长控制器中，重新生成硅纳米线或/和硅纳米颗粒；重新生成的硅纳米线或/和硅纳米颗粒进入冷却容器中，经冷却气体环释放出的冷却气体快速冷却稳定成型。本发明还提供了一种宏量制备硅纳米材料的装置。本发明提供的宏量制备硅纳米材料的方法及装置，实现了硅纳米材料尤其是硅纳米线的工业化制备，大幅度降低了材料制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅纳米材料 制备 硅纳米线 氢离子 等离子体枪 硅纳米颗粒 冷却气体 重新生成 电离 硅离子 热分解 材料制造成本 纳米材料技术 惰性气体 含硅气体 快速冷却 冷却容器 控制器 成型 释放 生长 | ||
【主权项】：
1.一种宏量制备硅纳米材料的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将含硅气体和惰性气体输入到等离子体枪中，在等离子体枪内电离及热分解出硅离子和氢离子；(2)使经过电离及热分解打开的硅离子和氢离子进入生长控制器中，重新生成硅纳米线或/和硅纳米颗粒；(3)重新生成的硅纳米线或/和硅纳米颗粒进入冷却容器中，经冷却气体环释放出的冷却气体快速冷却稳定成型。
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