[发明专利]一种耐高温柔性传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910603769.5 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110455317A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 陆旭兵;郭敏;杨成 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01D5/16;C23C14/08;C23C14/28;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 44425 广州骏思知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴静芝<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 510006广东省广州市番禺区外*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种耐高温柔性传感器及其制备方法，所述耐高温柔性传感器包括云母衬底，覆盖在所述云母衬底表面的导电层和在所述导电层上形成的金属电极。本发明所述耐高温柔性传感器采用的是在云母上生长导电层，所制备的柔性传感器具有较强的耐高温性能，结构简单，质量轻薄；且采用脉冲激光沉积的制备工艺简单，与传统的镀膜工艺及半导体工艺兼容，能够实现光刻和离子刻蚀，从而能够更简单、更高效率的实现柔性传感器的产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性传感器 云母 导电层 耐高温 制备 脉冲激光沉积 半导体工艺 产业化生产 耐高温性能 衬底表面 镀膜工艺 金属电极 离子刻蚀 制备工艺 传统的 高效率 轻薄 衬底 光刻 兼容 生长 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种耐高温柔性传感器，其特征在于：包括云母衬底，覆盖在所述云母衬底表面的导电层和在所述导电层上形成的金属电极。/n
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