[发明专利]近场超声空化复合流体剪切的微细齿轮光整加工装置及加工方法

摘要

本发明属于精密和超精密加工领域，特别涉及到一种近场超声空化复合流体剪切的微细齿轮光整加工装置及加工方法。包括近场超声空化系统、流体剪切系统以及抛光液循环系统，近场超声空化系统包括超声波发生器、压电换能器、变幅杆、上托盘、下托盘和精密支架；所述超声波发生器与压电换能器通过导线连接，压电换能器与变幅杆通过双头螺柱连接，变幅杆上设置有用于与精密支架固定的法兰盘，变幅杆与上托盘通过螺栓连接，上托盘下方设置下托盘，下托盘上设置有微细齿轮，微细齿轮与夹具通过螺栓连接。本发明抛光液的空化气泡与固体磨粒颗粒能够有效清洁微细沟槽结构界面，从而实现微细齿轮的高效、精密、绿色和柔性的光整加工。

主权项

1.一种近场超声空化复合流体剪切的微细齿轮光整加工装置，其特征在于：包括近场超声空化系统、流体剪切系统以及抛光液循环系统，近场超声空化系统包括超声波发生器（1）、压电换能器（2）、变幅杆（3）、上托盘（5）、下托盘（7）和精密支架（4）；所述超声波发生器（1）与压电换能器（2）通过导线连接，压电换能器（2）与变幅杆（3）通过双头螺柱连接，变幅杆（3）上设置有用于与精密支架固定的法兰盘，变幅杆（3）与上托盘（5）通过螺栓连接，上托盘（5）下方设置下托盘（7），下托盘（7）上设置有微细齿轮（6），微细齿轮（6）与夹具（8）通过螺栓连接；流体剪切系统包括抛光池（9）、电动机（10）、带传动系统（11）、减速器（12）和螺旋桨（13），抛光池（9）中置有抛光液（16），抛光池（9）外壁固定有电动机（10）和减速器（12），减速器（12）与电动机（10）通过带传动系统（11）连接；螺旋桨（13）置于抛光池（9）底部，并且与减速器（12）通过联轴器连接；抛光液循环系统包括循环管路（15）和液压泵（14），循环管路（15）包括上循环管路和下循环管路；上循环管路一端与抛光池（9）的左上端连接，另一端与液压泵（15）上端连接；下循环管路的一端与液压泵（14）下端连接，另一端与抛光池（9）的右下端连接。