[发明专利]一种用于激光器的三角形光栅的制备方法有效
| 申请号： | 201910586444.0 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110412671B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨帆;胡忞远;赵建宜 | 申请（专利权）人： | 武汉电信器件有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李梅香;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本申请涉及一种用于激光器的三角形光栅的制备方法，所述方法包括以下步骤：a)使用溴腐蚀液对覆盖有具有光栅图案的SiO |
||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光器 三角形 光栅 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光器的三角形光栅的制备方法，所述方法包括以下步骤：a)使用溴腐蚀液对覆盖有具有光栅图案的SiO2层的第二外延层进行腐蚀，使所述第二外延层形成深腐蚀三角形光栅轮廓；b)除去所述SiO2层；和c)在形成有深腐蚀三角形光栅轮廓的第二外延层上进一步形成第三外延层，其中，所述第二外延层层叠在第一外延层上，所述第一、第二和第三外延层分别由III‑V族半导体材料形成，且其中，所述溴腐蚀液为含有0.15～0.20mol/L HNO3、0.05～0.15mol/L HBr和0.001～0.003mol/L Br2。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉电信器件有限公司，未经武汉电信器件有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910586444.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
