[发明专利]一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 201910577048.1 申请日: 2019-06-28
公开(公告)号: CN110411333A 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 陈强华;孔祥悦;孙启国;吕洪波;何广平;司丽娜;豆照良;祖岩;朱炜;杨延竹;李艳红;柴娟芳 申请(专利权)人: 北方工业大学
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 王静思
地址: 100144 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置,其包括激光器,激光器的输出光路上从左到右依次设置有第一偏振片和偏振分光镜;偏振分光镜的透射光路上设置有第一反射镜,偏振分光镜的反射光路上设置有第二反射镜;第二反射镜的反射光路上从左到右依次设置有扩束系统、待测样品和缩束系统;缩束系统的出射光路和第一反射镜的反射光路的交汇处设置有分光镜,分光镜的透射光路上从左到右依次设置有四分之一波片、第二偏振片,聚焦透镜、CCD探测器。提供了一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置及方法,其用于测量透明/半透明介质或流场的折射率分布,且相位检测精度高于传统的光学相干层析光路。
搜索关键词: 反射镜 偏振分光镜 测量装置 相移干涉 新型激光 依次设置 层析 偏振 缩束系统 激光器 反射光 分光镜 偏振片 透射光 光学相干层析 四分之一波片 折射率分布 出射光路 待测样品 反射光路 聚焦透镜 扩束系统 相位检测 半透明 传统的 交汇处 输出光 光路 流场 测量 透明
【主权项】:
1.一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置,其包括激光器,其特征在于,激光器的输出光路上从左到右依次设置有第一偏振片和偏振分光镜;偏振分光镜的透射光路上设置有第一反射镜,偏振分光镜的反射光路上设置有第二反射镜;第二反射镜的反射光路上从左到右依次设置有扩束系统、待测样品和缩束系统;缩束系统的出射光路和第一反射镜的反射光路的交汇处设置有分光镜,分光镜的透射光路上从左到右依次设置有四分之一波片、第二偏振片,聚焦透镜、CCD探测器。
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