[发明专利]准直分光镜系统无效
| 申请号： | 201310485026.5 | 申请日： | 2013-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN103513429A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 谭满清;孙宁宁;焦健;郭小峰;郭文涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B27/12 | 分类号： | G02B27/12;G02B27/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种准直分光镜系统。该准直分光镜系统包括：消偏振立方分光镜；以及准直透镜，位于消偏振立方分光镜的光路前端，用于将发散光束进行准直处理转化为平行光后入射所述消偏振立方分光镜或将所述消偏振立方分光镜出射的平行光进行逆准直处理形成汇聚光束后出射。本发明准直分光镜系统通过准直透镜实现光束准直功能，然后利用消偏振立方分光镜分离光束至特定方向，实现低偏振准直分光功能，可以对任意发散角的光源进行准直分光。 | ||
| 搜索关键词： | 分光镜 系统 | ||
【主权项】：
一种准直分光镜系统，其特征在于，包括：消偏振立方分光镜；以及准直透镜，位于消偏振立方分光镜的光路前端，用于将发散光束进行准直处理转化为平行光后入射所述消偏振立方分光镜；或位于消偏振立方分光镜的光路后端，用于将所述消偏振立方分光镜出射的平行光进行逆准直处理形成汇聚光束后出射。
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- 分束器件、多光束干涉光路系统-201310234223.X
- 袁晓峰;陈林森;浦东林 - 苏州大学;苏州苏大维格光电科技股份有限公司
- 2013-06-13 - 2013-08-28 - G02B27/12
- 一种分束器件及多光束干涉光路系统，该分束器件包括挡光母板，位于该挡光母板上的多个圆孔，以及位于该多个圆孔中的多个分束透镜，通过该多个分束透镜实现多光束的分束，具有原理简单，分束效果可调的优点，并且产生的分束光路不需要采用多个支路进行调整，使得本发明的多光束干涉光路系统的总体结构简单并且紧凑，为多光束干涉曝光带来的新的应用前景。
- 纳米光学的折射光学器件-201180045778.9
- H·K·金;Y-S·荣;Y·习 - 匹兹堡高等教育联邦体系大学
- 2011-07-21 - 2013-05-22 - G02B27/12
- 本发明涉及一种垂直偶极子阵列结构，其包括支持膜的衬底，该膜不是由负折射率超材料组成。该膜包括多个倾斜取向的部分和孔径。至少两个倾斜取向的部分由孔径隔开，且倾斜取向的部分被配置成使得入射辐射重定向成负或正折射方向。
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