[发明专利]表面性状测定装置的控制方法有效
| 申请号： | 201910574688.7 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110657739B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 石冈鹰幸;片山实 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28;G01B5/20;G01B21/30;G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面性状测定装置的控制方法，使得在自动设置时不使触针的顶端产生位移。通过相对移动机构使测定器与测定对象面在Z轴方向上进行相对移动以使测定器与测定对象面接近，探测触针的顶端是否接触到测定对象面，计算从触针的顶端接触到测定对象面起直到测定臂变为水平为止所需要的、测定器与测定对象物的在Z轴方向上的相对位移量ΔZ0，并计算在测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动了ΔZ0时触针的顶端所产生的X轴方向的位移量ΔX0，在通过相对移动机构使测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动ΔZ0来使测定臂成为水平的同时，通过相对移动机构使测定器与测定对象物在X轴方向上相对位移ΔX0。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 性状 测定 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面性状测定装置的控制方法，其特征在于，/n所述表面性状测定装置具备：/n测定器，其通过一边与测定对象物的测定对象面接触一边对所述测定对象面进行仿形扫描，来测定所述测定对象面的表面性状；以及/n相对移动机构，其使所述测定器与所述测定对象物三维地进行相对移动，以使所述测定器沿着所述测定对象面进行仿形移动，/n其中，所述测定器具备：/n测定臂，其以旋转轴为支点来以能够进行圆弧运动的方式被支承；/n触针，其设置于所述测定臂的顶端；以及/n位移检测器，其对所述测定臂的由圆弧运动产生的位移进行检测，/n其中，将铅直方向设为Z轴方向，将与Z轴方向正交的一个方向设为X轴方向，/n在该表面性状测定装置的控制方法中，/n通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象面在Z轴方向上进行相对移动以使所述测定器与所述测定对象面接近，/n探测所述触针的顶端是否接触到所述测定对象面，/n计算从所述触针的顶端接触到所述测定对象面起直到所述测定臂变为水平为止所需要的、所述测定器与所述测定对象物的在Z轴方向上的相对位移量ΔZ0，/n计算在所述测定器与所述测定对象物在Z轴方向上相对移动了所述相对位移量ΔZ0时所述触针的顶端所产生的X轴方向的位移量ΔX0，/n在通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象物在Z轴方向上相对移动所述相对位移量ΔZ0来使所述测定臂成为水平的同时，通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象物在X轴方向上相对位移所述位移量ΔX0。/n
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