[发明专利]表面性状测定装置的控制方法

权利要求书

1.一种表面性状测定装置的控制方法，其特征在于，

所述表面性状测定装置具备：

测定器，其通过一边与测定对象物的测定对象面接触一边对所述测定对象面进行仿形扫描，来测定所述测定对象面的表面性状；以及

相对移动机构，其使所述测定器与所述测定对象物三维地进行相对移动，以使所述测定器沿着所述测定对象面进行仿形移动，

其中，所述测定器具备：

测定臂，其以旋转轴为支点来以能够进行圆弧运动的方式被支承；

触针，其设置于所述测定臂的顶端；以及

位移检测器，其对所述测定臂的由圆弧运动产生的位移进行检测，

其中，将铅直方向设为Z轴方向，将与Z轴方向正交的一个方向设为X轴方向，

在该表面性状测定装置的控制方法中，

通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象面在Z轴方向上进行相对移动以使所述测定器与所述测定对象面接近，

探测所述触针的顶端是否接触到所述测定对象面，

计算从所述触针的顶端接触到所述测定对象面起直到所述测定臂变为水平为止所需要的、所述测定器与所述测定对象物的在Z轴方向上的相对位移量ΔZ0，

计算在所述测定器与所述测定对象物在Z轴方向上相对移动了所述相对位移量ΔZ0时所述触针的顶端所产生的X轴方向的位移量ΔX₀，

在通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象物在Z轴方向上相对移动所述相对位移量ΔZ0来使所述测定臂成为水平的同时，通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象物在X轴方向上相对位移所述位移量ΔX₀。

2.根据权利要求1所述的表面性状测定装置的控制方法，其特征在于，

在将与X轴平行且穿过所述旋转轴的轴设为U轴、将与Z轴平行且穿过在所述测定臂处于水平时的所述触针的顶端的轴设为W轴、将U轴与W轴的交点设为第一主点Q、将所述触针的顶端设为第二主点D、将从所述第一主点Q到所述第二主点D的长度H设为顶端突出长度H、将从所述旋转轴到所述第一主点Q的长度L设为臂长L、将所述第二主点D接触到所述测定对象面时的所述第一主点Q的W坐标值设为Q_w0、且将所述第二主点D接触到所述测定对象面时的所述第二主点D的W坐标值设为Dw0时，

所述相对位移量ΔZ0为Dw0+H，

通过下面的式子给出所述位移量ΔX₀，

(式4)

3.根据权利要求1或2所述的表面性状测定装置的控制方法，其特征在于，

在探测出所述触针的顶端接触到所述测定对象面的时间点，使所述测定器与所述测定对象面的相对移动暂时停止。

4.一种表面性状测定装置的控制方法，其特征在于，

所述表面性状测定装置具备：

测定器，其通过一边与测定对象物的测定对象面接触一边对所述测定对象面进行仿形扫描，来测定所述测定对象面的表面性状；以及

相对移动机构，其使所述测定器与所述测定对象物三维地进行相对移动，以使所述测定器沿着所述测定对象面进行仿形移动，

其中，所述测定器具备：

测定臂，其以旋转轴为支点来以能够进行圆弧运动的方式被支承；

触针，其设置于所述测定臂的顶端；以及

位移检测器，其对所述测定臂的由圆弧运动产生的位移进行检测，

其中，将铅直方向设为Z轴方向，将与Z轴方向正交的一个方向设为X轴方向，

在该表面性状测定装置的控制方法中，

通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象面在Z轴方向上进行相对移动以使所述测定器与所述测定对象面接近，

探测所述触针的顶端是否接触到所述测定对象面，

在所述触针的顶端接触到所述测定对象面之后，使所述测定器与所述测定对象面的在Z轴方向上的相对移动继续进行规定时间，

计算在所述规定时间的期间内所述触针的顶端所产生的X轴方向的位移量ΔXG，

一边通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象物在Z轴方向上进行相对移动，一边通过所述相对移动机构使所述测定器与所述测定对象物在X轴方向上相对位移所述位移量ΔXG。