[发明专利]表面性状测定装置的控制方法

说明书

本发明提供一种表面性状测定装置的控制方法，使得在自动设置时不使触针的顶端产生位移。通过相对移动机构使测定器与测定对象面在Z轴方向上进行相对移动以使测定器与测定对象面接近，探测触针的顶端是否接触到测定对象面，计算从触针的顶端接触到测定对象面起直到测定臂变为水平为止所需要的、测定器与测定对象物的在Z轴方向上的相对位移量ΔZ0，并计算在测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动了ΔZ0时触针的顶端所产生的X轴方向的位移量ΔX0，在通过相对移动机构使测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动ΔZ0来使测定臂成为水平的同时，通过相对移动机构使测定器与测定对象物在X轴方向上相对位移ΔX0。

技术领域

本发明涉及一种表面性状测定装置的控制方法。

背景技术

已知以下的表面性状测定装置(例如专利文献1(日本特开2012-225742号公报))：通过触针对测定对象物的表面进行仿形扫描，由此对测定对象物的表面的性状(轮廓、粗糙度、波纹度等)进行测定。

图1是示出表面性状测定装置100的图。

表面性状测定装置100具备表面性状测定机200和控制装置300。

表面性状测定机200具备基座210、工作台220、相对移动机构230以及测定器270。

工作台220配置于基座210上，在工作台220的上表面载置测定对象物W。

相对移动机构230使测定器270与工作台220进行相对移动。作为相对移动机构230，具有Y轴驱动机构240、Z轴驱动机构250以及X轴驱动机构260。Y轴驱动机构240设置于基座210与工作台220之间，使工作台220向水平方向的一个方向(Y轴方向)移动。

在此，Y轴方向设为垂直于图1的纸面的方向。

Z轴驱动机构250具备竖立设置于基座210的上表面的Z柱251以及以能够在上下方向(Z轴方向)上进行升降移动的方式设置于Z柱251的Z滑块252。虽然省略Y轴驱动机构240和Z轴驱动机构250的详细的图示，但是例如也可以由具有滚珠丝杠轴以及与该滚珠丝杠轴螺纹结合的螺母构件的进给丝杠机构构成。

此外，针对Y轴驱动机构240附设有用于检测基座210与工作台220的相对位移的Y方向位置检测器241(参照图5)，针对Z轴驱动机构250附设有用于检测Z滑块252的升降量的Z方向位置检测器253(参照图5)。

X轴驱动机构260设置于Z滑块252的内部，用于使测定器270在X轴方向上移动。此外，X轴方向在图1中为纸面左右方向，即，是与工作台220的移动方向(Y轴方向)及Z滑块252的移动方向(Z轴方向)正交的方向。

图2是示出X轴驱动机构260和测定器270的结构的图。此外，在图2中，作为一例，示出用于对轮廓进行测定的测定器270。

在图2中，示出了Z滑块252的内部和测定器270的外壳276的内部。X轴驱动机构260具备导轨261、X滑块262、X方向位置检测器263以及进给机构264。

导轨261沿着X方向固定地设置，以能够在导轨261上滑动的方式设置有X滑块262。

X方向位置检测器263对X滑块262的X轴方向位置进行检测。

进给机构264具有进给丝杠轴265、电动机266以及动力传递机构267。

进给丝杠轴265与X滑块262进行螺纹结合。电动机266的旋转动力经由动力传递机构267被传递至进给丝杠轴265。X滑块262通过进给丝杠轴265的旋转而沿着X轴方向移动。

接着，对测定器270的结构进行说明。