[发明专利]一种复合结构双吸收层石墨烯探测器及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种复合结构双吸收层石墨烯探测器及其制备工艺。该探测器包括二氧化硅基底、石墨烯纳米带、金属电极、纳米光栅天线、金属量子点、金属膜环带片和透明粘合剂。通过亚波长纳米光栅天线对光束进行耦合传导同时产生等离子体共振，提高接收效率并增强光电响应；通过金属量子点激发表面等离子体激元，产生表面等离子体共振增强光电响应；通过金属膜环带片对入射光束聚焦，使得入射光能量集中作用在探测区域，增强光电响应。采用正反两面探测器结构，正面与背面同时接收并转换成光电流，有效增大了接收面积，进一步了提高光电响应。相应的制备工艺操作简单，可靠性强。本发明有助于突破石墨烯弱光子能量探测的技术瓶颈。

主权项

1.一种复合结构双吸收层石墨烯探测器，其特征在于，包括二氧化硅基底(1)、石墨烯纳米带(2)、金属电极(3)、纳米光栅天线(4)、金属量子点(5)和金属膜环带片(6)；其中，石墨烯纳米带(2)位于二氧化硅基底(1)表面，金属电极(3)形成于石墨烯纳米带(2)两侧，纳米光栅天线(4)形成于金属电极(3)上方，金属量子点(5)形成于石墨烯纳米带(2)表面，金属膜环带片(6)形成于二氧化硅基底(1)表面。