[发明专利]含硅多苯基单分子树脂及其光刻胶组合物有效
| 申请号： | 201910569152.6 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN112142769B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈金平;李嫕;张卫杰;于天君;曾毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | C07F7/08 | 分类号： | C07F7/08;G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一类含硅的多苯基单分子树脂，具有如下分子结构： |
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| 搜索关键词： | 含硅多 苯基 分子 树脂 及其 光刻 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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