[发明专利]基于锁相放大的微纳切削刀具切削刃轮廓原位测量方法在审
| 申请号： | 201910564333.X | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110270884A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 陈远流;陈甫文 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B23Q17/00 | 分类号： | B23Q17/00 |
| 代理公司： | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于锁相放大的微纳切削刀具切削刃轮廓原位测量方法，包括如下步骤：S1、离线评定参考结构；所述参考结构是由集成力传感器的两轴快速刀具伺服机构驱动微纳切削刀具加工得到的微纳结构，使用微纳形貌测量仪器测量所述参考结构的轮廓曲线e(x)/e(y)；S2、在机原位测量刀具轮廓；基于集成力传感器的两轴快速刀具伺服的力闭环反馈，控制刀具尖端沿X/Y方向对所述参考结构进行扫描，得到刀具扫描轨迹m(x)/m(y)；S3、根据离线测量的参考结构的轮廓曲线e(x)/e(y)和在机扫描得到的刀具扫描轨迹m(x)/m(y)计算刀具切削刃圆弧轮廓形状t(x)＝m(x)‑e(x)/t(y)＝m(y)‑e(y)。本发明所述方法可以通过与加工机床集成实现，基于锁相闭环可以实现在强环境噪声干扰下高精度测出微纳切削刀具切削刃表面几何轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 参考结构 切削刀具 原位测量 快速刀具伺服 刀具扫描 力传感器 轮廓曲线 锁相放大 切削刃 两轴 在机 扫描 闭环 环境噪声干扰 刀具切削刃 切削刃表面 闭环反馈 刀具尖端 刀具轮廓 机构驱动 几何轮廓 加工机床 离线测量 微纳结构 形貌测量 仪器测量 圆弧轮廓 离线 评定 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基于锁相放大的微纳切削刀具切削刃轮廓原位测量方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、离线评定参考结构；所述参考结构是由集成力传感器的两轴快速刀具伺服机构驱动微纳切削刀具加工得到的微纳结构，使用微纳形貌测量仪器测量所述参考结构的轮廓曲线e(x)/e(y)；S2、在机原位测量刀具轮廓；基于集成力传感器的两轴快速刀具伺服的力闭环反馈，控制刀具尖端沿X/Y方向对所述参考结构进行扫描，得到刀具扫描轨迹m(x)/m(y)；S3、根据离线测量的参考结构的轮廓曲线e(x)/e(y)和在机扫描得到的刀具扫描轨迹m(x)/m(y)计算刀具切削刃圆弧轮廓形状t(x)＝m(x)‑e(x)/t(y)＝m(y)‑e(y)。
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