[发明专利]氢化物气相外延的镓舟结构有效
| 申请号： | 201910554424.5 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112126976B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 庞云玲 | 申请（专利权）人： | 紫石能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张璐 |
| 地址： | 102208 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，公开了一种氢化物气相外延的镓舟结构，包括舟体，还包括：所述舟体的顶部设置镓源入口，所述舟体内用于盛放液态镓源，所述舟体内设置反应物出口管路，所述反应物出口管路的顶端高于液态镓源的液面，所述反应物出口管路的底端穿出所述舟体的底壁；以及分气盘，所述分气盘设置在所述舟体内的底壁上，在所述分气盘的侧面设置氯化氢进口，在所述分气盘的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口，各个所述氯化氢出口均位于液态镓源的液面的下方。该镓舟结构具有氯化氢转化率高、氯化氢与液态镓源的接触面积大以及有效地延长了氯化氢的路径的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 氢化物 外延 结构 | ||
【主权项】：
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